【仪表网 仪表产业】11月9日，中国政府采购网发布华东师范大学等离子体化学气相沉积(PECVD)、等离子增强原子层沉积系统、高分辨X射线衍射仪等设备采购项目国际公开招标公告，共分六个包，预算金额共1882万元，投标人可对下述任一个包件或多个包件进行投标。潜在投标人应在上海市曹杨路528弄35号中世办公楼会议室5楼办公室获取招标文件。
包件一:等离子体化学气相沉积(PECVD)
包件二:等离子增强原子层沉积系统
包件三:高分辨率X-射线衍射仪
包件四:磁控溅射镀膜系统、电子束蒸发镀膜系统
包件五:半导体综合测试系统-变温真空探针台
包件六:台式微纳结构高速直写系统
包件一项目基本情况
项目编号：1069-224Z20223841(代理机构内部编号：招案2022-3841)
项目名称：华东师范大学等离子体化学气相沉积(PECVD)、等离子增强原子层沉积系统、高分辨X射线衍射仪等设备采购项目
预算金额：400.0000000 万元(人民币)
最高限价(如有)：400.0000000 万元(人民币)
采购需求：
招标项目编号： 1069-224Z20223841/01
包件一:等离子体化学气相沉积(PECVD)
合同履行期限：合同签订后 290 天交货
本项目( 不接受 )联合体投标。
包件二项目基本情况
项目编号：1069-224Z20223841(代理机构内部编号：招案2022-3841)
项目名称：华东师范大学等离子体化学气相沉积(PECVD)、等离子增强原子层沉积系统、高分辨X射线衍射仪等设备采购项目
预算金额：380.0000000 万元(人民币)
最高限价(如有)：380.0000000 万元(人民币)
采购需求：
招标项目编号：1069-224Z20223841/02
包件二： 等离子增强原子层沉积系统
合同履行期限：合同签订后 240 天交货
本项目( 不接受 )联合体投标。
包件三项目基本情况
项目编号：1069-224Z20223841(代理机构内部编号：招案2022-3841)
项目名称：华东师范大学等离子体化学气相沉积(PECVD)、等离子增强原子层沉积系统、高分辨X射线衍射仪等设备采购项目
预算金额：250.0000000 万元(人民币)
最高限价(如有)：250.0000000 万元(人民币)
采购需求：
招标项目编号： 1069-224Z20223841/03
包件三： 高分辨率X-射线衍射仪
合同履行期限：合同签订后 240 天交货
本项目( 不接受 )联合体投标。
包件四项目基本情况
项目编号：1069-224Z20223841(代理机构内部编号：招案2022-3841)
项目名称：华东师范大学等离子体化学气相沉积(PECVD)、等离子增强原子层沉积系统、高分辨X射线衍射仪等设备采购项目
预算金额：550.0000000 万元(人民币)
最高限价(如有)：550.0000000 万元(人民币)
采购需求：
招标项目编号： 1069-224Z20223841/04
包件四： 磁控溅射镀膜系统、电子束蒸发镀膜系统
合同履行期限：合同签订后 365 天交货
本项目( 不接受 )联合体投标。
包件五项目基本情况
项目编号：1069-224Z20223841(代理机构内部编号：招案2022-3841)
项目名称：华东师范大学等离子体化学气相沉积(PECVD)、等离子增强原子层沉积系统、高分辨X射线衍射仪等设备采购项目
预算金额：122.0000000 万元(人民币)
最高限价(如有)：122.0000000 万元(人民币)
采购需求：
招标项目编号： 1069-224Z20223841/05
包件五： 半导体综合测试系统-变温真空探针台
合同履行期限：合同签订后 210 天交货
本项目( 不接受 )联合体投标。
包件六项目基本情况
项目编号：1069-224Z20223841(代理机构内部编号：招案2022-3841)
项目名称：华东师范大学等离子体化学气相沉积(PECVD)、等离子增强原子层沉积系统、高分辨X射线衍射仪等设备采购项目
预算金额：180.0000000 万元(人民币)
最高限价(如有)：180.0000000 万元(人民币)
采购需求：
招标项目编号：1069-224Z20223841/06
包件六： 台式微纳结构高速直写系统
合同履行期限：合同签订后 180 天交货
本项目( 不接受 )联合体投标。
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